大面积可控电弧蒸发源
基本信息
| 申请号 | CN94115583.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN1103677A | 公开（公告）日 | 1995-06-14 |
| 申请公布号 | CN1103677A | 申请公布日 | 1995-06-14 |
| 分类号 | C23C14/30 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 袁哲;张树林;王振全;高仰之 | 申请（专利权）人 | 北京电炉厂有限公司 |
| 代理机构 | 三高专利事务所 | 代理人 | 李富英 |
| 地址 | 100054北京市宣武区南菜园乙15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种大面积可控电弧蒸发源。大平面靶2固定在阴极座7上，两者之间有密封圈6。阴极座7与真空室24的法兰通于绝缘件5及密封圈8密封，阴极座7中设有多组电弧线圈16，盖板17固定在阴极座上。压板12用螺栓固连在真空室24的法兰上。电磁线圈16通过接线柱14接直流电源。大平面靶2上同心装有异种材料的圆环靶19、20或装有小圆柱靶1。本发明的优点是通过控制电弧线圈中电流的变化控制磁场变化使靶材烧蚀均匀，并可镀制多种成分的膜层。 |
