一种金刚石用新式化学气相沉积装置
基本信息
| 申请号 | CN202121077012.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214655231U | 公开（公告）日 | 2021-11-09 |
| 申请公布号 | CN214655231U | 申请公布日 | 2021-11-09 |
| 分类号 | C23C16/27（2006.01）I;C23C16/511（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曹晓君 | 申请（专利权）人 | 湖南良诚新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙湘驰达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗若愚 |
| 地址 | 422000湖南省邵阳市邵阳经济开发区电子信息产业园标准厂房B区第8栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及金刚石技术领域，特别涉及一种金刚石用新式化学气相沉积装置，包括谐振腔，所述谐振腔由下部的气相沉积室和上端的石英微波窗组成，气相沉积室内设有沉积台，沉积台上设有基片和微波等离子体，所述石英微波窗内壁均匀设有若干石英片，所述石英微波窗与气相沉积室之间开设有与外部气源连接的进气口，所述气相沉积室底端开设有与微波源连接的微波入口，本实用新型通过在石英微波窗内壁均匀设有若干石英片，且将进气口设于述石英微波窗与气相沉积室之间，这样在引导气流的导向，可使谐振腔内金刚石表面的微波功率密度、气流、温度快速稳定的分布均匀，可有效提高气相沉积效率，从而有效提高金刚石的质量。 |
