一种化学气相沉积钻石的设备
基本信息
| 申请号 | CN202110670039.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113463065A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113463065A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | C23C16/27（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曹晓君 | 申请（专利权）人 | 湖南良诚新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙湘驰达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗若愚 |
| 地址 | 422000湖南省邵阳市邵阳经济开发区电子信息产业园标准厂房B区第8栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种化学气相沉积钻石的设备，包括反应箱，所述反应箱底端设有若干支撑脚，所述反应箱内底壁转动连接有转轴，所述转轴顶端与反应箱内顶壁转动连接，所述转轴表面固定套有若干托盘，若干所述托盘下表面均设有若干电加热器，所述反应箱外侧壁一侧设有微波发生器，所述反应箱外侧壁设有若干散热板，所述反应箱顶端设有两个进气管，两个所述进气管位于反应箱内的一端均固定连接有连接管。本发明中，设置有反应箱、散热板、围板和风扇，从而可以对反应箱侧壁进行降温，进而避免反应箱内侧壁上发生沉积，并且，反应箱内部设有多个托盘和放置板，放置板与托盘之前设有重量传感器，使得该设备可以实时监测合成钻石的重量。 |
