一种化学气相沉积金刚石的冷却装置
基本信息
| 申请号 | CN202121346608.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214830651U | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN214830651U | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | C23C16/54（2006.01）I;C23C16/27（2006.01）I;B01D29/03（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曹晓君 | 申请（专利权）人 | 湖南良诚新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙湘驰达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗若愚 |
| 地址 | 422000湖南省邵阳市邵阳经济开发区电子信息产业园标准厂房B区第8栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种化学气相沉积金刚石的冷却装置，包括制备罐本体，所述制备罐本体外壳通过两个连接管连接有储液罐，其中一所述连接管中部设有循环泵，所述储液罐中部固定连接有第一滤网，所述储液罐顶端开设有多个气孔，所述气孔内壁固定连接有多个连接块，多个所述连接块共同固定连接有散热管，所述散热管内壁固定连接有多个散热杆，所述散热杆共同固定连接有内管，所述散热管内壁两端分别固定连接有第二滤网与第三滤网，本实用新型通过设置第一滤网、第二滤网与第三滤网，第一滤网的设置便于更好的对冷却液进行格挡，便于更好的使用，第二滤网的设置便于更好的格挡冷却液，第三滤网的设置便于更好的隔绝来自排气泵静置时下落的灰尘。 |
