一种微波等离子气相沉积金刚石的设备
基本信息
| 申请号 | CN202110677872.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113430499A | 公开（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申请公布号 | CN113430499A | 申请公布日 | 2021-09-24 |
| 分类号 | C23C16/27（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I;C23C16/511（2006.01）I;F16L37/14（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曹晓君 | 申请（专利权）人 | 湖南良诚新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙湘驰达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 罗若愚 |
| 地址 | 422000湖南省邵阳市邵阳经济开发区电子信息产业园标准厂房B区第8栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种微波等离子气相沉积金刚石的设备，包括反应炉，所述反应炉内设置有反应腔，且反应炉的顶部设置有与反应腔相连通的转换器，所述转换器上连接有微波发生器，所述反应腔内设置有沉积基片台，且反应腔内壁设置有折射板，所述反应腔内壁与沉积基片台相对应位置设置有环形管，所述环形管上设置有气孔，所述反应炉的外侧设置有输气管，所述输气管通过连接装置与环形管相连通，所述连接装置包括安装在反应炉外表面的固定架以及安装在输气管上的连接架。本发明中，通过设置的连接装置，既能保证输气管路能够便捷稳定的对接安装到反应炉上，同时也可以进行便捷的拆卸工作，使用非常的灵活便捷，方便进行检修维护工作。 |
