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光学检测装置

基本信息

申请号	CN201010550699.0	申请日	-
公开（公告）号	CN102148132B	公开（公告）日	2013-02-27
申请公布号	CN102148132B	申请公布日	2013-02-27
分类号	H01L21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	崔学峰;吕克振	申请（专利权）人	上海澜博半导体设备有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	201203 上海市张江高科技园区郭守敬路351号2号楼657-20室
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种光学检测装置，包括一与轨道相向设置的显微镜机构；一产品夹持机构可移动地设置在轨道上，产品夹持机构包括可开合的夹爪结构及与轨道滑移配合的夹持支架；一驱动机构，与产品夹持机构连接；一第一传感器，设置在弹夹末端相对位置以使第一传感器可检测到在弹夹的出口处被卡住的待检产品；一第二传感器，设置在轨道的相对位置以使第二传感器可检测到滞留在轨道上的待检产品；还包括一控制机构，控制机构包括报警装置及一摇柄控制按钮机构相对设置；检测装置至少包括：一与轨道相向设置的视觉机构；一用于本发明提高了设备在运行过程中的稳定性；可以设置多种检测的手段，改善检测装置的自动化程度，提高检测的精度；同时装置尺寸小巧，结构紧凑的特点，大大缩小了设备的占地空间。