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光学检测装置

基本信息

申请号 CN201010550699.0 申请日 -
公开（公告）号 CN102148132A 公开（公告）日 2011-08-10
申请公布号 CN102148132A 申请公布日 2011-08-10
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 崔学峰;吕克振 申请（专利权）人 上海澜博半导体设备有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 201203 上海市张江高科技园区郭守敬路351号2号楼657-20室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种光学检测装置，该检测装置设置在床体上一轨道的一端，与设置在轨道另一端的容置待检产品的弹夹相对设置；检测装置至少包括：一与轨道相向设置的视觉机构；一用于抓夹待检产品的产品夹持机构，可移动地设置在轨道上；一第一传感器，设置在弹夹末端相对位置；一第二传感器，设置在轨道的相对位置；还包括一控制机构。本发明由于通过对在轨卡料状况的检测，可以有效防止检测产品在检测过程中被毁坏，进而提高设备在运行过程中的稳定性；可以设置多种检测的手段，改善检测装置的自动化程度，提高检测的精度；同时装置尺寸小巧，结构紧凑的特点，大大缩小了设备的占地空间。