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一种具有Ag反射镜的mini/microLED及其制作方法

基本信息

申请号	CN202111606885.6	申请日	-
公开（公告）号	CN113990995A	公开（公告）日	2022-01-28
申请公布号	CN113990995A	申请公布日	2022-01-28
分类号	H01L33/46（2010.01）I;H01L33/00（2010.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	李俊承;赵敏博;谈凯强;刘苏杰;王克来;白继锋;熊珊;潘彬;王向武	申请（专利权）人	南昌凯捷半导体科技有限公司
代理机构	南昌金轩知识产权代理有限公司	代理人	桑耀
地址	330000江西省南昌市临空经济区黄堂西街199号8#厂房204室
法律状态	-

摘要

本发明涉及LED技术领域，具体涉及一种具有Ag反射镜的mini/micro LED及其制作方法，该mini/micro LED包括蓝宝石基板、LED外延层、P电极、N电极、第一钝化层、Ag反射镜、第二钝化层和焊盘电极；Ag反射镜通过大马士革工艺镶嵌在第一钝化层上；第二钝化层沉积在Ag反射镜和第一钝化层表面，并将Ag反射镜覆盖。本发明mini/micro LED通过大马士革工艺引入Ag反射镜，可以很精确的控制芯片表面Ag镜膜覆盖区域与厚度，反射率得到大大提高，同时将Ag反射镜制作在SiO2层之间，形成全方位反射层，对不同角度的入射光均有很好的反射效果，同时Ag反射镜被两层SiO2有效保护，不会被氧化或腐蚀，质量稳定。