一种自动升降扫描电镜样品座系统
基本信息
申请号 | CN202111054920.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114188203A | 公开(公告)日 | 2022-03-15 |
申请公布号 | CN114188203A | 申请公布日 | 2022-03-15 |
分类号 | H01J37/20(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 赵曼;朱振华 | 申请(专利权)人 | 上海磊微科学仪器有限公司 |
代理机构 | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 朱明福 |
地址 | 200000上海市浦东新区自由贸易试验区富特北路211号302部位368室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种自动升降扫描电镜样品座系统,包括支撑座,所述支撑座底壁内设有动力腔、移动腔与升降槽,所述动力腔内设有驱动电机,所述移动腔内转动连接有与驱动电机连接的第一螺纹杆,所述升降槽内设有支撑块,所述升降槽与支撑块之间设有限位机构,所述支撑块通过连接机构与第一螺纹杆连接,所述支撑块上端面设有用于放置样品的放置槽。本发明通过设置支撑机构与啮合机构,在支撑块下移的时候转块可以通过外壁的齿圈与齿条发生转动,从而通过挤压杆、活动块、保护垫挤压样品外壁对其进行挤压固定,避免使用螺栓等简单结构实现挤压固定功能,装置整体结构合理巧妙,赋予装置科技感也提高了装置的功能性。 |
