一种自动升降扫描电镜样品座系统

基本信息

申请号 CN202111054920.8 申请日 -
公开(公告)号 CN114188203A 公开(公告)日 2022-03-15
申请公布号 CN114188203A 申请公布日 2022-03-15
分类号 H01J37/20(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 赵曼;朱振华 申请(专利权)人 上海磊微科学仪器有限公司
代理机构 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 代理人 朱明福
地址 200000上海市浦东新区自由贸易试验区富特北路211号302部位368室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种自动升降扫描电镜样品座系统,包括支撑座,所述支撑座底壁内设有动力腔、移动腔与升降槽,所述动力腔内设有驱动电机,所述移动腔内转动连接有与驱动电机连接的第一螺纹杆,所述升降槽内设有支撑块,所述升降槽与支撑块之间设有限位机构,所述支撑块通过连接机构与第一螺纹杆连接,所述支撑块上端面设有用于放置样品的放置槽。本发明通过设置支撑机构与啮合机构,在支撑块下移的时候转块可以通过外壁的齿圈与齿条发生转动,从而通过挤压杆、活动块、保护垫挤压样品外壁对其进行挤压固定,避免使用螺栓等简单结构实现挤压固定功能,装置整体结构合理巧妙,赋予装置科技感也提高了装置的功能性。