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高g值加速度计

基本信息

申请号	CN200510042775.6	申请日	-
公开（公告）号	CN1288448C	公开（公告）日	2006-12-06
申请公布号	CN1288448C	申请公布日	2006-12-06
分类号	G01P15/12(2006.01);F42B10/60(2006.01)	分类	测量；测试;
发明人	赵玉龙;蒋庄德;高建忠;赵立波	申请（专利权）人	西安维纳信息测控有限公司
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	李郑建
地址	710049陕西省西安市咸宁路28号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种高g值加速度计，该加速度计由加速度敏感梁、两块电路板和SOI硅微固态压阻芯片构成；该加速度敏感梁上有对称的台阶，两块电路板对称粘接在台阶上，SOI硅微固态压阻芯片设置在加速度敏感梁的中间，硅微固态压阻芯片与两块电路板通过引线连接。本发明采用双端固定的加速度敏感梁和硅隔离SOI硅微固态压阻芯片构成硅微应变固态压阻高g值传感器，解决了穿甲、掩体侵彻、钻地武器以及航弹等引信系统的高g值加速度测量问题。同时采用共晶焊接技术，解决了传感器迟滞问题。该加速度计传感器具有量程高、动态特性好、耐候性强以及测量精度高、高过载等特点，能够满足穿甲、掩体侵彻、钻地武器以及航弹等引信系统高g值加速度的测量需要。