微型压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN200820030021.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201247122Y | 公开（公告）日 | 2009-05-27 |
| 申请公布号 | CN201247122Y | 申请公布日 | 2009-05-27 |
| 分类号 | G01L9/06(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 赵玉龙;王建军;袁展荣;刘秀娥;赵立波 | 申请（专利权）人 | 西安维纳信息测控有限公司 |
| 代理机构 | 西安智大知识产权代理事务所 | 代理人 | 弋才富 |
| 地址 | 710054陕西省西安市雁翔路99号博源大厦B402 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 微型压力传感器，包括一探针壳体5，探针壳体5的一端配置有带有引压孔7的端盖1，探针壳体5内配置有集成封装在玻璃硅杯3上的硅隔离(SOI)固态压阻式芯片2，金丝9的一端与硅隔离(SOI)固态压阻式芯片2相连，另一端与电缆线11内的导线10相连，介质的压力通过引压孔7作用在微型化硅隔离(SOI)固态压阻式芯片2的敏感元件上，敏感元件在外界的压力作用下输出与压力相关的电压信号，具有灵敏度高、精度高、动态特性好、可靠性高、体积小、重量轻的特点。 |
