真空荧光显示器阳极、制造方法及所得真空荧光显示器

基本信息

申请号 CN200410027607.5 申请日 -
公开(公告)号 CN1713330A 公开(公告)日 2005-12-28
申请公布号 CN1713330A 申请公布日 2005-12-28
分类号 H01J29/02;H01J1/38;H01J9/02 分类 基本电气元件;
发明人 吴小飞;陈鉴波;谭奇成;陈一全;杨耀虎 申请(专利权)人 肇庆智华光电子技术有限责任公司
代理机构 广州三环专利代理有限公司 代理人 肇庆智华光电子技术有限责任公司
地址 526060广东省肇庆市迎宾大道北125区三层综合楼(健华大院内)
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种制造真空荧光显示器的阳极的方法及所得的产品,该方法包括:设计阳极电极图案、光绘电极图案的底片、制作基板、在基板上镀铝膜、在铝膜上涂覆感光材料、图案转移、曝光、显影、蚀刻、脱膜等步骤。该方法制得的真空荧光显示器阳极产品电极膜厚度仅为2~4μm,阳极上的电极图案线径也仅为0.03~0.04mm,线距可以只有0.05mm甚至更小,像素点可以达到0.2×0.2mm甚至更小。