一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的方法及设备
基本信息
| 申请号 | CN201310596052.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104651929B | 公开（公告）日 | 2018-08-21 |
| 申请公布号 | CN104651929B | 申请公布日 | 2018-08-21 |
| 分类号 | C30B28/06;C30B29/06;C01B33/037 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 姜大川;王登科;安广野;郭校亮;谭毅 | 申请（专利权）人 | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 266000 山东省青岛即墨市普东镇任家屯村任家屯路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于冶金熔炼领域，特别涉及一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的方法及设备，该方法首先将炉体和电子枪抽真空，启动熔炼用电子枪对多晶硅料进行电子束熔炼，熔炼初步去除杂质氧；在辐射用电子枪作用下保持液态进一步除氧，最后通过水冷传输带引导进入铸锭装置中，进行定向长晶，得到多晶硅铸锭，该设备包括电子束熔炼组件和铸锭耦合组件，铸锭耦合组件包括铸锭装置，铸锭装置位于水冷传输带下方，且水冷传输带的导流口位于铸锭装置的石英坩埚中心的正上方，本发明首次提出了电子束熔炼除氧的工艺方法和用途，实现了电子束除氧的效果，同时结合铸锭耦合，降低了铸锭加热原料所需的能耗，大大提高了生产效率。 |
