一种侧部加热器可移动的铸锭炉及铸锭生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN201310547113.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103572365B | 公开（公告）日 | 2017-01-11 |
| 申请公布号 | CN103572365B | 申请公布日 | 2017-01-11 |
| 分类号 | C30B11/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 王峰;李鹏廷;谭毅;任世强;熊华江;安广野;姜大川 | 申请（专利权）人 | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 266234 山东省青岛市即墨市普东镇太阳能产业基地 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于多晶硅铸锭领域，特别涉及一种侧部加热器可移动的铸锭炉及铸锭生产工艺。其装置包括炉体，炉体内有石英坩埚，石英坩埚的外壁由内向外依次环绕有侧部加热器和保温碳毡，石英坩埚上方固定安装有顶部加热器，石英坩埚下方安装有热交换块，侧部加热器沿环绕方向上等距安装有导热杆，导热杆的另一端与炉体外顶部的电极棒固定相连。其工艺包括装料抽真空，加氩气升压，加热使硅料熔化，晶体长晶，退火保温及冷却降温，加热阶段和硅料熔化阶段，侧部加热器在石英坩埚的竖直方向上做往复运动；长晶过程中，侧部加热器保持在石英坩埚中部；退火保温阶段，侧部加热器保持在石英坩埚下部。本发明能够使铸锭生产成本降低5%。 |
