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一种调整硝酸滴加浓度的多晶硅预处理方法

基本信息

申请号	CN201310289793.9	申请日	-
公开（公告）号	CN103344471A	公开（公告）日	2016-05-25
申请公布号	CN103344471A	申请公布日	2016-05-25
分类号	G01N1/28	分类	测量；测试;
发明人	谭毅;刘瑶;刘鑫业	申请（专利权）人	青岛隆盛晶硅科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	266234 山东省青岛市即墨市普东镇太阳能产业基地
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种多晶硅杂质检测的预处理方法，具体涉及一种调整硝酸滴加浓度的多晶硅预处理方法。其步骤如下：（1）称取多晶硅样品0.1-0.5g于PTFE烧杯中；（2）将1%甘露醇溶液0.3-1ml加入PTFE烧杯使多晶硅样品浸润；（3）将质量分数为49%的氢氟酸3-5ml加入PTFE烧杯中；（4）加入0.5-1.0ml质量分数为35%的硝酸，再加入1.0-2.0ml质量分数为70%的硝酸，反应至多晶硅样品完全消溶；（5）控制温度使硅挥发，定容后调节酸度，检测杂质含量，操作结束。本发明的优点在于：可以使多晶硅中硼元素及其他金属元素同时被检测，同时硼元素保留作用明显，使其回收率可从80～85%提升至95%以上，方法简单易于操作，缩短了溶液蒸干的时间，提高了多晶硅预处理效率。