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电子束熔炼高效去除多晶硅中杂质氧的方法及其装置

基本信息

申请号 CN201310596935.6 申请日 -
公开（公告）号 CN104649276B 公开（公告）日 2018-09-25
申请公布号 CN104649276B 申请公布日 2018-09-25
分类号 C01B33/037 分类 无机化学;
发明人 姜大川;王登科;郭校亮;安广野;谭毅 申请（专利权）人 青岛隆盛晶硅科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 266000 山东省青岛市即墨市普东镇营普路46号太阳能产业基地
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种电子束熔炼高效去除多晶硅中杂质氧的方法及其装置，打破了传统的电子束熔炼模式，不在熔炼坩埚内进行电子束熔炼，而是借用导流槽进行电子束除氧熔炼，由于硅液能够在导流区域内铺散，比表面积增大，因此电子束熔炼除氧效果更好。本发明的优点在于：（1）提出了电子束除氧的工艺方法和用途，解决了多晶硅中杂质氧去除的难题，氧含量可以降低于0.0571ppmw以下，满足太阳能电池对多晶硅铸锭含氧量的要求；（2）多晶硅料高效带状除氧技术可增大硅液表面积30%以上，缩短除氧时间20%以上；（3）可实现连续化生产，提高生产效率35%以上。