一种电子束熔炼多晶硅除氧与连续铸锭的方法及设备专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种电子束熔炼多晶硅除氧与连续铸锭的方法及设备

基本信息

申请号	CN201310598300.X	申请日	-
公开（公告）号	CN103741210B	公开（公告）日	2016-08-17
申请公布号	CN103741210B	申请公布日	2016-08-17
分类号	C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;C01B33/037(2006.01)I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	谭毅;安广野;郭校亮;姜大川;王登科	申请（专利权）人	青岛隆盛晶硅科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	266234 山东省青岛市即墨市普东镇太阳能产业基地
法律状态	-

摘要

本发明属于冶金熔炼领域，特别涉及一种电子束熔炼多晶硅除氧与连续铸锭的方法及设备，该方法首先将炉体和电子枪抽真空，启动熔炼用电子枪对多晶硅料进行电子束熔炼，熔炼初步去除杂质氧；在辐射用电子枪作用下保持液态进一步除氧，最后通过水冷传输带引导进入铸锭装置中，进行定向长晶铸锭工艺，得到多晶硅铸锭，至所有铸锭装置中定向长晶铸锭工艺完成，该设备包括电子束熔炼组件和连续铸锭组件，包括水冷的熔炼坩埚和该熔炼坩埚一侧设有的水冷传输带，铸锭装置为3?6台，固定安装于旋转平台上，本发明首次提出了电子束熔炼除氧的工艺方法和用途，实现了电子束除氧的效果，同时结合连续铸锭，降低了铸锭加热原料所需的能耗，大大提高了生产效率。