一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒
基本信息
| 申请号 | CN201921784209.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210430138U | 公开（公告）日 | 2020-04-28 |
| 申请公布号 | CN210430138U | 申请公布日 | 2020-04-28 |
| 分类号 | H01R4/66;C23C16/505 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘海;刘亮;曾劲刚 | 申请（专利权）人 | 深圳市辰翔新能源技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市深联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市辰翔新能源技术有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区兰竹东路13号609-610区域（东城大厦） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于PECVD真空腔体的接地铜棒，包括：圆柱形铜材质棒体及圆筒形棒套，棒体的外圆周上形成有环状第一法兰，棒套一端设置有第二法兰，棒套套在棒体上，第二法兰对应第一法兰，两者之间夹设有第二橡胶圈，使用卡箍同时套固在第一、第二法兰上，第二橡胶圈被两法兰密封压紧；使用时，棒套穿插固定在真空腔体的壁体上，棒体的一端连接一铜线与腔体内部的接地铜排相连接、另一端连接另一铜线接地。本实用新型采用铜棒从真空腔体内引出作为接地端，金属铜导电性能优越，可以有效传导对地电压；同时在铜棒上加工出法兰连接结构，棒套利用密封件与铜棒法兰密封连接，确保穿插真空腔体的密闭性以及安装的稳定性。 |
