一种气体汇总分流器
基本信息
| 申请号 | CN201921752751.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210856330U | 公开（公告）日 | 2020-06-26 |
| 申请公布号 | CN210856330U | 申请公布日 | 2020-06-26 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 姚群;刘亮;刘海 | 申请（专利权）人 | 深圳市辰翔新能源技术有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市深联知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 深圳市辰翔新能源技术有限公司 |
| 地址 | 518000广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区兰竹东路13号609-610区域（东城大厦） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种气体汇总分流器，包括呈圆管状的法兰管和螺旋扰流器，所述法兰管的两端管口分别连接有进气法兰和出气法兰，所述进气法兰上设有一个进气孔，所述进气孔连接有进气管，所述出气法兰上设置有多个相同孔径的出气孔，每个所述出气孔均连接有出气管；所述螺旋扰流器的螺旋盘以所述法兰管的轴线为中心设置于所述法兰管的内腔中，所述螺旋扰流器的螺旋片面布设有若干贯穿的孔洞。本实用新型的气体汇总分流器采用螺旋扰流器可使通入的各种气体充分混合，尾部的出气侧，且可根据需要设置多个相同尺寸的出气孔，使得出气均匀，从而满足了单管给多个分立式夹具进行均匀供气的需求。 |
