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麦克风的制造方法

基本信息

申请号 CN201010153512.3 申请日 -
公开（公告）号 CN101959117B 公开（公告）日 2013-08-07
申请公布号 CN101959117B 申请公布日 2013-08-07
分类号 H04R31/00(2006.01)I 分类 电通信技术;
发明人 杨斌 申请（专利权）人 瑞声微电子科技（常州）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518057 广东省深圳市南山区高新技术产业园北区新西路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种麦克风的制造方法，该方法包括如下步骤：提供一个第一单晶硅衬底，在第一单晶硅衬底的表面分别形成第一刻蚀阻挡层和第一多晶硅；图案化第一多晶硅并在其上沉积键合层；提供一个第二单晶硅衬底，在第二单晶硅衬底的表面分别形成第二刻蚀阻挡层和第二多晶硅；将第一单晶硅衬底的键合层与第二多晶硅高温键合；分别在第一、第二单晶硅衬底的另一个表面沉积二氧化硅；在二氧化硅上沉积光刻胶并将光刻胶图案化；使二氧化硅图案化；刻蚀第一、第二单晶硅衬底，再去除所述光刻胶；释放整个结构，得到麦克风。通过本发明的麦克风的制造方法得到的麦克风灵敏度高、一致性好。