振膜及包括该振膜的电容麦克风
基本信息
| 申请号 | CN201010163721.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101883306B | 公开（公告）日 | 2012-12-12 |
| 申请公布号 | CN101883306B | 申请公布日 | 2012-12-12 |
| 分类号 | H04R7/00(2006.01)I;H04R19/04(2006.01)I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 杨斌;张睿 | 申请（专利权）人 | 瑞声微电子科技（常州）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518057 广东省深圳市南山区高新技术产业园北区新西路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种振膜，其包括振动部和与振动部相连的支撑部，所述支撑部与振动部通过凸出于振动部外周的凸块连接，且振动部与支撑部之间有第一缝隙，支撑部包括位于振动部外周且与凸块分离的支撑梁、与凸块相连的扭转梁和与支撑梁相连的固定梁，固定梁与扭转梁之间有第二缝隙。该种振膜可以释放振膜在沉积过程中所形成的应力。 |
