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加速度传感器

基本信息

申请号 CN201010198641.4 申请日 -
公开（公告）号 CN101865934B 公开（公告）日 2012-01-18
申请公布号 CN101865934B 申请公布日 2012-01-18
分类号 G01P15/125(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 杨斌;孟珍奎;张睿;葛舟;颜毅林 申请（专利权）人 瑞声微电子科技（常州）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518057 广东省深圳市南山区高新技术产业园北区新西路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种加速度传感器，其特征在于：该加速度传感器包括基底、质量块、第一组电容、对第一组电容相邻的第三组电容，其中；质量块可相对于基底运动，并设有上表面、与上表面平行的下表面以及连接上下表面的侧壁；第一组电容包括与质量块侧壁相连接的第一动电极轴、连接第一动电极轴与基底的第一弹性支撑部件，以及由第一动电极轴延伸并垂直于质量块侧壁法向的若干第一动电极；第一组电容还包括若干与第一动电极平行并连接固定至基底的第一定电极；每两相邻的第一动电极之间设有至少一个上述的第一定电极；还包括分别与质量块侧面相连的第二组电容和第四组电容。本发明提供的加速度传感器尺寸小、灵敏度高，设计灵活。