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MEMS加速度传感器

基本信息

申请号 CN201010198622.1 申请日 -
公开（公告）号 CN101871952B 公开（公告）日 2012-07-11
申请公布号 CN101871952B 申请公布日 2012-07-11
分类号 G01P15/18(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 杨斌 申请（专利权）人 瑞声微电子科技（常州）有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518057 广东省深圳市南山区高新技术产业园北区新西路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及微机电领域，具体指一种能检测沿着三个正交轴加速度的MEMS加速度传感器，其包括衬底、质量块，沿第一方向排布并垂直于质量块的侧面的法向的若干第一动电极、平行于第一动电极的若干第一定电极，第一动电极与第一定电极之间具有重叠面积，第一动电极相较第一定电极更远离质量块的上表面；垂直于第一方向的第二方向上，具有垂直于质量块的侧面的法向的若干第二动电极，平行于第二动电极的若干第二定电极，第二动电极与第二定电极之间具有重叠面积，第二动电极相较第二定电极更靠近质量块的上表面。将实现三轴方向的加速度检测，采用固定电极单元和运动电极单元之间的交叠面积变化来实现Z轴的传感性能，减少了结构的整体尺寸。