电容MEMS麦克风振膜
基本信息
| 申请号 | CN201010167950.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101883307B | 公开（公告）日 | 2012-12-12 |
| 申请公布号 | CN101883307B | 申请公布日 | 2012-12-12 |
| 分类号 | H04R7/00(2006.01)I;H04R19/04(2006.01)I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 杨斌 | 申请（专利权）人 | 瑞声微电子科技（常州）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 518057 广东省深圳市南山区高新技术产业园北区新西路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及微型麦克风领域，具体指一种应用于电子设备上，具有更加灵敏度的电容MEMS(micro-electro-mechanical?system)麦克风振膜，它包括与背板构成电容系统的振膜单元，所述振膜单元包括位于中央位置悬置的内膜和外围膜片，其中所述的外围膜片由内膜边缘向外衍生延伸出至少四对均匀分布的环形折梁构成，以减小绝缘层对振膜单元周侧边缘部的约束，可以有效提高灵敏度；同时本发明的振膜单元，能够防止振膜单元振颤时的平面扭动，有效释放应力，从而进一步改善麦克风性能的稳定性。 |
