一种3D-MEMS探针的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN202110632967.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113562686A | 公开（公告）日 | 2021-10-29 |
| 申请公布号 | CN113562686A | 申请公布日 | 2021-10-29 |
| 分类号 | B81C1/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 施元军 | 申请（专利权）人 | 苏州韬盛电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京化育知识产权代理有限公司 | 代理人 | 闫露露 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区唯文路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种3D‑MEMS探针的制造方法，具体包括如下步骤：在衬底上溅射一层种子层；旋涂负的或者正的光刻胶；利用光刻机对产品进行曝光并显影；利用电镀的方法生长高强度金属；去除相关的光刻胶；利用电镀在高强度金属和暴露的种子层上生长出金属层；利用研磨机器将金属层研磨至高强度金属的厚度；重复生长完成后最终利用湿法去除所述种子层和所述金属层，将3D结构探针从衬底上面剥离后，收集并清洗。本发明利用MEMS加工技术，混合电镀研磨技术，生产制造3D探针，并使用湿法腐蚀方法来剥离生产制造出的产品，制备工艺简单，实现了MEMS加工技术在3D探针产品制备的应用。 |
