首页/ 宁波日晟新材料有限公司/ 专利详情

一种用于硅片加工的抛光机

基本信息

申请号 CN201921991593.7 申请日 -
公开（公告）号 CN211760339U 公开（公告）日 2020-10-27
申请公布号 CN211760339U 申请公布日 2020-10-27
分类号 B24B7/22(2006.01)I 分类 磨削；抛光;
发明人 孙韬 申请（专利权）人 宁波日晟新材料有限公司
代理机构 宁波知坤专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 朱玉泉
地址 315410浙江省宁波市余姚市丈亭镇龙丰村
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于硅片加工的抛光机，使用时，将硅片放置在安装基座上，在启动升降气缸带动升降杆向下移动，进而带动第一交叉杆和第二交叉杆向下移动，上端板和下端板不仅能够将打磨盘调节到适当的位置，其本身也具有很好为稳定性，便于装置本体的使用；将下端板下端的打磨盘调节到合适的位置处后，在启动驱动电机带动安装基座在稳固座上进行转动，然后硅片自身也转动，通过稳固座上的嵌设柱能够使得安装基座稳固转动，使得硅片在打磨盘的下端稳定转动，便于提高硅片打磨的稳固性，此时将抛光液通过出液管和喷头进行喷洒，在安装基座转动的同时，能够带动硅片沿着打磨盘进行转动打磨，提高了打磨抛光的效率，经济实用，便于推广。