一种真空蒸镀设备的蒸发源
基本信息
| 申请号 | CN201920142801.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209584357U | 公开（公告）日 | 2019-11-05 |
| 申请公布号 | CN209584357U | 申请公布日 | 2019-11-05 |
| 分类号 | C23C14/24（2006.01）I; C23C14/26（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈卫民; 王捷 | 申请（专利权）人 | 广州先艺电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 广州先艺电子科技有限公司 |
| 地址 | 510000 广东省广州市番禺区南村镇里仁洞金山工业园自编B幢B201、B202、B302 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空蒸镀设备的蒸发源，一种真空蒸镀设备的蒸发源，包括坩埚和加热部，所述加热部均匀设置在所述坩埚的外周；所述蒸发源的侧上方设置有坩埚，坩埚底部设置有小孔；所述坩埚底部的小孔与所述蒸发部之间设置有引流束；所述引流束的一端设置在所述蒸发部，所述引流束的另一端穿过坩埚底部的小孔伸入至坩埚内。本实用新型由于蒸发原料以液体状态沿着引流束逐步输运，在到达蒸发部时迅速蒸发，减少了同时加热蒸发全部原料导致的成分偏差。同时,该蒸发源对蒸发原料的形状要求低，不需要制备成粉末、丝状等特殊形状，降低了原料成本。 |
