用于蚀刻液循环再生系统的自动调药装置和控制器
基本信息
| 申请号 | CN202120932745.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215404532U | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN215404532U | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | C23F1/08;C23F1/46 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郑健成;关家斌 | 申请（专利权）人 | 广东德同环保科技有限公司 |
| 代理机构 | 四川仓颉律师事务所 | 代理人 | 曹华;张勇 |
| 地址 | 528203 广东省佛山市南海区九江镇龙高公路敦上大道2号4楼401（住所申报） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于蚀刻液循环再生系统的自动调药装置和控制器。该自动调药装置包括：第一容器，第二容器，药料输送设备，以及控制器；第一容器，用于容纳补充药料；第二容器，用于容纳再生液，并接收补充药料，以进行组分调配；药料输送设备设置在第一容器与第二容器之间，用于将第一容器内的补充药料输送至第二容器中；控制器与药料输送设备通信连接，用于通过启动信号或者停止信号控制药料输送设备的启动或者停止，以从第一容器向第二容器输送指定量的补充药料，从而解决补充投料延迟较大，投料精确度低，导致再生后的蚀刻液蚀刻稳定性差，再生循环效率和蚀刻良品率较低等问题。 |
