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电化学抛光液回收装置与方法

基本信息

申请号 CN201911410727.6 申请日 -
公开（公告）号 CN113122905A 公开（公告）日 2021-07-16
申请公布号 CN113122905A 申请公布日 2021-07-16
分类号 C25F7/02（2006.01）I;C25F3/22（2006.01）I 分类 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕;
发明人 吴雷;李凯强;金一诺;吴均;王坚;王晖 申请（专利权）人 盛美半导体设备（上海）股份有限公司
代理机构 上海光华专利事务所（普通合伙） 代理人 余明伟
地址 201203上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种电化学抛光液回收装置与方法，该装置包括：上方设有开口的电解槽，用于容纳抛光液；包括电极板的极板组件；电极板包括阴极板和阳极板，分别连接直流电源；电极板在电解时浸入抛光液并沉积固态物质；包括刮刀的刮刀组件，用于刮除固态物质；用于驱动刮刀与电极板相对移动的驱动组件，使刮刀从电极板刮除固态物质；包括网兜的过滤组件，网兜对电极板进行包围隔离，用于过滤固态物质。本发明通过引入驱动、刮刀和过滤等组件，使析出金属在完成电解过程后，在从电解槽中取出时自动被刮所刮除并收集于网兜中。本发明避免了析出金属对抛光液的二次污染，解决了析出金属的快捷回收问题，提升了作业效率。