一种金属图案化方法

基本信息

申请号 CN201910627876.1 申请日 -
公开(公告)号 CN112218436B 公开(公告)日 2021-10-01
申请公布号 CN112218436B 申请公布日 2021-10-01
分类号 H05K3/06(2006.01)I 分类 其他类目不包含的电技术;
发明人 于洋 申请(专利权)人 北京梦之墨科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100081北京市海淀区北四环西路67号中关村国际创新大厦505
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种金属图案化方法,涉及减材制造技术领域。其中,该金属图案化方法,包括:在金属表面上形成蚀刻掩模;将液态金属涂覆至所述金属表面未被所述蚀刻掩模所覆盖的区域,使液态金属对该区域内的金属进行腐蚀,在未被所述蚀刻掩模所覆盖的区域形成两者的合金反应物;通过施加蚀刻液消除在未被所述蚀刻掩模所覆盖的区域上形成的合金反应物,得到与所述蚀刻掩模的形状一致的金属图案。本发明通过利用化学性质活跃的液态金属首先对金属待蚀刻的区域进行腐蚀,降低该区域金属在整个金属上的一致性,使该区域内的金属更易与蚀刻液进行反应,从而提高化学蚀刻效率。