用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构

基本信息

申请号 CN202110016795.5 申请日 -
公开(公告)号 CN112853306A 公开(公告)日 2021-05-28
申请公布号 CN112853306A 申请公布日 2021-05-28
分类号 C23C14/56(2006.01)I;F16H49/00(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 白洁;洪福;吴立华;张宇;张冰洁;林钦彬;朱强;康国坡;李权;李克天 申请(专利权)人 广东培创智能技术有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 胡辉
地址 528458广东省中山市五桂山区丹桂路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种用于实现工件旋转的磁力耦合传动机构,包括门板,安装于观察窗处以密封观察窗,门板具有外侧和内侧,内侧朝向反应室;驱动机构,包括外轮和内轮,外轮和内轮分别相对设置在门板的外侧和内侧,外轮和内轮上均设置有磁性部件,使得外轮和内轮之间磁力耦合,外轮通过驱动电机驱动,进而带动内轮转动;安装架,设置于反应室内,安装架具有用于装载多面体工件的工件轴;传动机构,连接在内轮与工件轴之间,内轮通过传动机构带动工件轴转动,进而带动多面体工件转动。通过外轮和内轮上的磁性部件的互相耦合作用,把门板外的动力传入至门板内,门板上不需要开孔,进而解决了轴密封的问题。