等离子束发生装置及产生等离子束的方法
基本信息
| 申请号 | CN201910584763.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112188716A | 公开（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申请公布号 | CN112188716A | 申请公布日 | 2021-01-05 |
| 分类号 | H05H1/30(2006.01)I | 分类 | 其他类目不包含的电技术; |
| 发明人 | 曾宪俊 | 申请（专利权）人 | 上海宏澎能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 马景辉 |
| 地址 | 201900上海市宝山区盘古路388号5号楼三楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本公开涉及等离子束发生装置及产生等离子束的方法。一种等离子束发生装置，包括：第一气体源，用于提供第一气体；第二气体源，用于提供第二气体；以及等离子体发生器，用于将包含第一气体和第二气体的混合气体电离，形成等离子束，其中，所述等离子束发生Z轴箍缩，所述第一气体包含氢气，所述第二气体包含以下气体中的至少一种：惰性气体和氮气。 |
