光源装置
基本信息
申请号 | CN202011196400.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114442437A | 公开(公告)日 | 2022-05-06 |
申请公布号 | CN114442437A | 申请公布日 | 2022-05-06 |
分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 曾宪俊 | 申请(专利权)人 | 上海宏澎能源科技有限公司 |
代理机构 | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 马景辉 |
地址 | 201900上海市宝山区盘古路388号5号楼三楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本公开涉及光源装置。一种光源装置,包括:等离子源;第一电源,用于为等离子源供电;第一电极,具有孔;第二电源,用于在等离子源的负电极与第一电极之间产生第一电场,使得等离子体从孔穿过第一电极;第二电极,用于接收穿过第一电极的等离子体;第三电源,用于在第一电极与第二电极之间产生第二电场;真空室;以及磁体,用于产生磁场,磁场被构造成将等离子体约束在真空室的中心轴附近,真空室包括第一腔室、第二腔室、第三腔室和第四腔室,磁体包括:第一磁体,用于在第一腔室中产生第一磁场;第二磁体,用于在第二腔室中产生第二磁场;以及第三磁体,用于在第四腔室中产生第三磁场,等离子体在第三腔室中会聚,从而产生电磁辐射。 |
