一种大功率中空等离子体源装置
基本信息
| 申请号 | CN201922466883.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211267223U | 公开（公告）日 | 2020-08-14 |
| 申请公布号 | CN211267223U | 申请公布日 | 2020-08-14 |
| 分类号 | H05H1/24(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 陈波 | 申请（专利权）人 | 上海宏澎能源科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200120上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼A684-12室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种大功率中空等离子体源装置，具有阳极棒、阴极棒、绝缘安装板、阳极接线桩、阴极安装板、阴极接线桩、绝缘套，阴极棒、阴极安装板各具有相同的多只，阴极棒安装在阴极安装板的内侧下端，阴极接线桩安装在其中一只阴极安装板上端，剩余的阴极安装板以及阴极棒分别安装在绝缘安装板下端，阳极棒上端安装在绝缘套上部内侧端，阳极接线桩下端和阳极棒通过导线连接，绝缘套下部和绝缘安装板连接在一起，绝缘套上部和阳极接线桩连接在一起，阴极接线桩和多只阴极棒经导线连接，高电压发生机构电源输出两端分别阳极接线桩、阴极接线桩经导线连接。本新型适用于多种气体源使用，能产生较高热负荷，等离子束流密度高。 |
