一种减薄机的气浮主轴及减薄机
基本信息
申请号 | CN202011515768.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112743452A | 公开(公告)日 | 2021-05-04 |
申请公布号 | CN112743452A | 申请公布日 | 2021-05-04 |
分类号 | B24B41/047;B23Q11/12 | 分类 | 磨削;抛光; |
发明人 | 李战伟;王海明;王明权;刘国敬;刘婷婷 | 申请(专利权)人 | 北京中电科电子装备有限公司 |
代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 许静;曹娜 |
地址 | 100176 北京市经济技术开发区泰河三街1号楼310室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种减薄机的气浮主轴及减薄机,其中,气浮主轴包括:转轴以及支撑驱动机构;转轴包括:轴心、电机转子和磨轮盘,轴心呈沿轴线方向贯通的中空结构,且具有至少一条冷却液通道;支撑驱动机构包括:径向轴承组合、电机驱动总成、止推轴承组合、下端盖以及上端盖,至少一条冷却液回路连通上端盖、径向轴承组合、电机驱动总成、止推轴承组合以及下端盖。气浮主轴包括专用于对转轴的轴心进行冷却的冷却液通道以及对支撑驱动机构进行冷却的冷却液回路,当冷却液进入冷却液通道和冷却液回路时,可对转轴、径向轴承组合、电机驱动总成以及止推轴承组合等进行冷却,使气浮主轴处于恒温的环境中,有利于提高气浮主轴工作时的精度以及工作效率。 |
