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一种单芯片平行位置的确定方法

基本信息

申请号 CN201711442714.8 申请日 -
公开（公告）号 CN108198778B 公开（公告）日 2020-07-03
申请公布号 CN108198778B 申请公布日 2020-07-03
分类号 H01L21/68;G06T7/70 分类 -
发明人 孙彬;周文静;夏志伟;刘婷婷;侯佳丽;颜剡;孟庆嵩 申请（专利权）人 北京中电科电子装备有限公司
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 北京中电科电子装备有限公司
地址 100176 北京市经济技术开发区泰河三街1号楼310室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种单芯片平行位置的确定方法，包括以下步骤：步骤1，确定图像模板及图像模板对准点的坐标；步骤2，通过图像模板找到对应位置的芯片图像；步骤3，根据图像模板对准点的坐标和芯片图像对准点的坐标对比得到芯片图像与图像模板的角度偏差值和芯片图像对准点与图像模板对准点坐标的偏差值,以得到芯片图像对准点A的坐标A(m，n)及对准点A在坐标系中的角度β；步骤4，根据角度偏差值和芯片图像对准点A的坐标偏差值得出芯片图像对准点旋转至平行位置时芯片图像对准点坐标B(x，y)。根据本发明的实施例能够在任一对准点进行拉直计算，方便快捷的确定芯片的平行位置，减少了对准时间，提高了对准精度。