一种液体毛细键合装置
基本信息
| 申请号 | CN201510756730.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105390423B | 公开（公告）日 | 2018-01-19 |
| 申请公布号 | CN105390423B | 申请公布日 | 2018-01-19 |
| 分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李玉瑶;李楚钟;王菲;许庭赫;付秀华;邢鹏岳;陈燨;陈润泽;方铉;魏志鹏;王晓华 | 申请（专利权）人 | 上海纬而视视讯科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 130022 吉林省长春市卫星路7089号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种液体毛细键合装置，包括载物台（1）、一维滑轨（2）、滑块（3）、联接块（4）、高压气体喷枪（5）、电磁阀门（6）、气体容器（7）、图像采集单元（8）、成像光学系统（9）和上位机（10）。该装置采用图像采集与处理系统实时判断键合完成状况来替代操作人员目测主观判断的方式，有效提高了判断的准确性；在键合工艺完成后自动关闭高压喷枪喷射气体，节约了惰性气体资源，且在整个键合工艺过程中无需操作人员值守。 |
