金刚石有序排布的研磨修整器的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110848719.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113529154A | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN113529154A | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | C25D15/00;C25D3/12;C25D5/36;C25D7/00;B24B53/12;B24B53/017 | 分类 | 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕; |
| 发明人 | 邹余耀;张富纬 | 申请（专利权）人 | 江苏三超金刚石工具有限公司 |
| 代理机构 | 常州佰业腾飞专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘松 |
| 地址 | 212400 江苏省镇江市经济开发区致远路66号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于半导体生产制造技术领域，具体公开了一种金刚石有序排布的研磨修整器的制备方法。其包括如下步骤：S1、丝网印刷油墨层：利用丝网印刷法在基体表面涂布印刷一层设定图案的油墨层；S2、电镀金刚石：采用埋砂法在表面印刷好设定图案油墨层的基体上电镀金刚石；S3、去除油墨层：将电镀金刚石后的基体放入碱溶液中浸泡使油墨层去除，得到去除油墨的基体；S4、基体整面电镀加厚：将去除油墨的基体放入电镀液中进行基体整面电镀加厚，得到金刚石有序排布的研磨修整器。本发明相比光刻胶法，工艺简单、周期短、易操作，油墨成本低，有利于大规模推广。本方法制备的金刚石研磨修整器，金刚石把持力高达50N以上。 |
