一种基于共振光隧穿效应的加速度检测器及检测方法
基本信息
| 申请号 | CN201510888044.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105548610B | 公开（公告）日 | 2018-05-04 |
| 申请公布号 | CN105548610B | 申请公布日 | 2018-05-04 |
| 分类号 | G01P15/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 菅傲群;段倩倩;魏重光;桑胜波;张文栋;唐军;石云波 | 申请（专利权）人 | 山西清众科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 太原高欣科创专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 太原理工大学 |
| 地址 | 030024 山西省太原市万柏林区迎泽西大街79号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及基于共振光隧穿效应原理制作的加速度检测器及检测方法；提出了一种利用共振光隧穿效应原理上高分辨率的特点，测量加速度的新型结构的加速度检测器；所采用的技术方案为：一种基于共振光隧穿效应的加速度检测器，包括固定框、弹性悬臂梁和质量块，可调光源和光电探测器，利用共振光隧穿效应对质量块微弱移量的变化将会引起透射强度T大的变化量进行检测，以监测到的光透射强度的变化获得位移量大小，实现对微位移量的精确测量。 |
