片上微型热电子源
基本信息
| 申请号 | CN202021025066.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212570915U | 公开（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申请公布号 | CN212570915U | 申请公布日 | 2021-02-19 |
| 分类号 | H01J1/142(2006.01)I; | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 赵振征;刘文超 | 申请（专利权）人 | 天津迈刻微科电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 何家鹏 |
| 地址 | 300191天津市滨海新区自贸试验区（中心商务区）新华路3699号双创大厦28层2806室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及电子源技术领域，具体涉及一种片上微型热电子源，包括：衬底，至少一个电子发射体单元，设置在所述衬底表面的控制电极；所述电子发射体单元包括铱本体和设置在所述铱本体上的氧化钇薄膜；所述电子发射体单元的两端分别连接一所述控制电极；所述衬底与所述电子发射单元相对的区域设置有沟槽，所述沟槽设于所述控制电极之间。本实用新型的片上微型热电子源中，铱本体和氧化钇组成的电子发射单元具有电流大、发射性能稳定、寿命长、抗中毒性强等优点。设置多个电子发射体单元及对应的控制电极，可以稳定发射性能、减小电子源的体积和功耗，具有较高的阵列集成度。 |
