微型紫外光源及制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010968815.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112216597A | 公开（公告）日 | 2021-01-12 |
| 申请公布号 | CN112216597A | 申请公布日 | 2021-01-12 |
| 分类号 | H01J63/06(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘文超 | 申请（专利权）人 | 天津迈刻微科电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 何家鹏 |
| 地址 | 300191天津市滨海新区自贸试验区（中心商务区）新华路3699号双创大厦28层2806室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于紫外光源技术领域，具体涉及一种微型紫外光源及制备方法。本发明中的微型紫外光源包括依次设置的光窗板、紫外阴极材料层、加速电极层、绝缘间隔体和微型电子源片，绝缘间隔体的中间设有中空腔体，微型电子源片的中部和中空腔体相对应，微型电子源片和加速电极层之间真空设置。通过使用本技术方案中的微型紫外光源，微型电子源片用于产生电子束，由于加速电极层与微型电子源片之间具有很强的正电势差，微型电子源片发射的电子在中空腔体内加速向加速电极层方向移动，具有一定能量的电子穿过加速电极层轰击紫外阴极荧光材料层，从而产生紫外线，紫外线再透过光窗板进入到外界，提高了工作效率。 |
