微型X射线源及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010339470.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111627786A | 公开（公告）日 | 2020-09-04 |
| 申请公布号 | CN111627786A | 申请公布日 | 2020-09-04 |
| 分类号 | H01J35/08(2006.01)I;H01J35/16(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘文超 | 申请（专利权）人 | 天津迈刻微科电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郎志涛 |
| 地址 | 300191天津市滨海新区自贸试验区（中心商务区）新华路3699号双创大厦28层2806室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及X射线源技术领域，具体涉及一种微型X射线源及其制备方法。本发明的微型X射线源包括基座、管帽和片上微型电子源，基座上设置有管脚；管帽设置在基座上，并位于基座的上方，且管帽上设置有通孔，通孔上连接有阳极，阳极、基座和管帽形成密闭真空腔体；片上微型电子源上设置在基座上，并位于密闭真空腔体内，且片上微型电子源的驱动电极和阳极均与管脚相连接。本方案中通过片上微型电子源作为电子发射阴极，设在基座上并位于密闭真空腔体内，片上微型电子源采用微纳加工技术而制得，具有体积小、功耗低、放射性低、批量制备成本低等优点，并可广泛应用于近距离X射线放疗、便携式X射线检测和分析等场景。 |
