一种在瓦楞辊表面注渗氮化硅特种陶瓷的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种在瓦楞辊表面注渗氮化硅特种陶瓷的方法

基本信息

申请号	CN200910084987.9	申请日	-
公开（公告）号	CN101906606B	公开（公告）日	2014-04-23
申请公布号	CN101906606B	申请公布日	2014-04-23
分类号	C23C8/36(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	杨金龙;刘炜;陈立辉;陈俊忠;肖武	申请（专利权）人	深圳市东方企业有限公司
代理机构	北京申翔知识产权代理有限公司	代理人	周春发
地址	100084 北京市海淀区清华园清华大学
法律状态	-

摘要

本发明提供一种在瓦楞辊表面注渗氮化硅特种陶瓷的方法，其包含以下步骤：将瓦楞辊置于真空等离子热处理炉内，并与炉内阴极的阴极相连；密封开启真空系统，抽真空，之后充氢气与四氯化硅气体的混合气；启动真空等离子热处理炉的电源；提高工件电源电压，加大工件电流，使工件逐步升温，并保温；保温结束后，切断辉光电源，关闭阀门，工件冷却；排出四氯化硅与氢气混合气，将真空室抽真空后，充入氮气与氢气的混合气；再次启动电源；提高工件电源电压，加大工件电流，使工件逐步升温，并保温；本发明有效提高瓦楞辊的使用寿命，通过离子注渗的工艺，在瓦楞辊表面形成具有极高结合强度的氮化硅耐磨陶瓷层，将瓦楞辊寿命延长至1500万长米，废品率控制在2％以下。