一种半导体功率器件测试的装置

基本信息

申请号 CN202021587744.5 申请日 -
公开(公告)号 CN212872754U 公开(公告)日 2021-04-02
申请公布号 CN212872754U 申请公布日 2021-04-02
分类号 G01R31/26(2014.01)I;G01R1/04(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 王玉桃 申请(专利权)人 常州银河世纪微电子股份有限公司
代理机构 常州市科谊专利代理事务所 代理人 孙彬
地址 213022江苏省常州市新北区长江北路19号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种半导体功率器件测试的装置,它包括大板、器件承载板、活动支架和探针组件,所述大板的中部开设有滑槽,所述器件承载板可在滑槽中移动,所述滑槽的两侧分别设置有支撑杆,所述活动支架套设在支撑杆上并可在支撑杆上滑动,所述支撑杆上套设有弹簧,所述弹簧的一端抵接在大板上,所述弹簧的另一端抵接在活动支架上,所述探针组件固定在活动支架的与大板相对的一面。本实用新型提供一种半导体功率器件测试的装置,它可以提高传统测试的准确性,提高工作效率。