一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构及制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201811428534.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109623631A | 公开（公告）日 | 2019-04-16 |
| 申请公布号 | CN109623631A | 申请公布日 | 2019-04-16 |
| 分类号 | B24B37/30（2012.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 李升; 左浩; 刘宏明 | 申请（专利权）人 | 西安碳星半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄领皓专利代理有限公司 | 代理人 | 西安碳星半导体科技有限公司 |
| 地址 | 710000 陕西省西安市国家民用航天产业基地东长安街888号LED产业园1号楼1层厂房南半部 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及金刚石生长的技术领域，特别是涉及一种用于超薄单晶金刚石衬底研磨的夹具结构及制作方法，其可以减少研磨失误，方便多个金刚石衬底进行同时研磨，减少耗费时间；其结构包括固定柱、多组支撑板和多组调节螺纹杆，固定柱顶部边缘区域设置有多组放置槽，并在固定柱底部边缘区域设置有多组调节孔，多组调节孔分别与多组放置槽连通，并在多组调节孔内壁上分别设置有与多组调节螺纹杆相对应的内螺纹，多组调节螺纹杆底端分别设置有多组旋转板，其制作方法包括以下步骤：（1）开槽处理；（2）车螺纹；（3）清理废屑；（4）黏贴防滑垫和缓冲垫；（5）清理浮胶；（6）螺纹杆安装；（7）绘制刻度；（8）焊接处理。 |
