一种CVD设备尾气收集处理装置
基本信息
| 申请号 | CN201821573000.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209271162U | 公开（公告）日 | 2019-08-20 |
| 申请公布号 | CN209271162U | 申请公布日 | 2019-08-20 |
| 分类号 | B01D53/78（2006.01）I; B01D53/68（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 刘宏明; 左浩 | 申请（专利权）人 | 西安碳星半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 西安碳星半导体科技有限公司 |
| 地址 | 710000 陕西省西安市国家民用航天产业基地东长安街888号LED产业园1号楼1层厂房南半部 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种CVD设备尾气收集处理装置，包括处理箱，所述处理箱的下表面中间位置固定连接有进气管，所述进气管的一侧侧壁铰接有投放门，所述投放门的一侧侧壁固定连接有把手，所述投放门的侧壁靠近把手的一侧转动连接有卡接块，所述卡接块设置在把手的下方，所述进气管的侧壁靠近投放门的一侧纵向开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑槽的内侧壁固定连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧的另一端与滑块固定连接，所述处理箱的内部底部位置固定连接有澄清石灰水箱和通气管。本实用新型废气收集处理的效果好，尤其是氯化氢气体和氟化氢气体，避免资源的浪费和环境的污染，过滤装置可以方便拆卸和安装，便于清理。 |
