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一种腔体运行状态视觉监测装置

基本信息

申请号	CN202123297750.4	申请日	-
公开（公告）号	CN216718227U	公开（公告）日	2022-06-10
申请公布号	CN216718227U	申请公布日	2022-06-10
分类号	G01N21/84（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	沈爱华	申请（专利权）人	无锡华瑛微电子技术有限公司
代理机构	苏州言思嘉信专利代理事务所（普通合伙）	代理人	-
地址	214000江苏省无锡市新区震泽路18号无锡（国家）软件园鲸鱼座A幢1楼
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种腔体运行状态视觉监测装置，包括装置主体、开口处滑轨、升降门和相机，所述装置主体上设置有相机，所述相机通过电性连接有图像收集控制系统，所述装置主体上设置有挡板和上腔体，所述装置主体内设置有一号下腔体和二号下腔体，所述二号下腔体底部设置有气囊，所述气囊上放置有升降气缸，所述升降气缸贯穿一号下腔体连接有PIN，所述PIN上连接有晶圆，所述装置主体开口处放置有机械手。本实用新型通过装置主体内分为上腔体和下腔体两个部分，以及，气囊带动升降气缸的升降带动PIN和晶圆的升降，PIN和晶圆的运行情况能被相机实时采集，通过图像采集系统将数据收集和模板匹配，对腔体内的黑暗情况下，各个电子元件的运行监测。