一种微电子元器件清洁设备及方法
基本信息
| 申请号 | CN201810261425.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108746002B | 公开（公告）日 | 2021-12-07 |
| 申请公布号 | CN108746002B | 申请公布日 | 2021-12-07 |
| 分类号 | B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 夏森;黄耀;陈大龙;芮望颐 | 申请（专利权）人 | 安徽尼古拉电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市博太联众专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 任转英 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区桃源街道塘朗社区祥瑞三路44号水木众德科创大厦102 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种微电子元器件清洁设备及方法，包括清洗室、离心清洗单元、蒸汽发生单元、蒸汽输入单元、负压控制单元和第一电机（13），所述清洗离心单元设置在清洗室（2）内部，待清洗的微电子元器件放置在离心清洗单元上，蒸汽发生单元通过蒸汽输入单元向清洗室输入蒸汽，所述负压控制单元调整清洗室（2）内容积控制清洗室（2）压强，第一电机（13）同时为蒸汽输入单元和负压控制单元提供动力。微电子元器件的清洗有利于提高电子元件的质量和使用寿命。 |
