一种具有参考电容的传感器件
基本信息
| 申请号 | CN201611044954.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106373974B | 公开（公告）日 | 2019-10-18 |
| 申请公布号 | CN106373974B | 申请公布日 | 2019-10-18 |
| 分类号 | H01L27/146 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 王汉清 | 申请（专利权）人 | 江苏骏龙光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集智东方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 江苏骏龙光电科技股份有限公司 |
| 地址 | 214500 江苏省泰州市靖江市建安路2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种具有参考电容的传感器件，包括：第一衬底，所述第一衬底包括具有第一半导体元件的正面和与所述正面相对的背面；在所述第一衬底的背面的凹槽，所述凹槽深度小于或等于所述第一衬底的厚度的一半；固定于所述凹槽内的第二衬底，所述第二衬底包括具有第二半导体元件的正面和与所述正面相对的背面，所述第二衬底的正面与所述第一衬底的背面共面；平行于所述第一衬底的侧面的电容器，所述电容器由绝缘材料包覆。 |
