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一种晶圆储存盒

基本信息

申请号 CN202110460264.5 申请日 -
公开（公告）号 CN113306856A 公开（公告）日 2021-08-27
申请公布号 CN113306856A 申请公布日 2021-08-27
分类号 B65D25/10（2006.01）I;B65D61/00（2006.01）I 分类 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料;
发明人 廖良生;王金彬;朱凯;祝晓钊;冯敏强 申请（专利权）人 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
代理机构 苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 赵艳芳
地址 215000江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种晶圆储存盒，包括第一伸缩板和第二伸缩板，第一伸缩板和第二伸缩板上均形成有多个折叠槽，第一伸缩板上的折叠槽和第二伸缩板上的折叠槽一一对应，第一伸缩板上的折叠槽和第二伸缩板上的相应折叠槽之间形成储存晶圆的储存腔，每个折叠槽的外壁上均连接有推拉杆，推拉杆的第一端穿设折叠槽并连接有支撑件,支撑件的一端铰接在推拉杆的第一端，另一端铰接在折叠槽的内壁上。本发明可有效避免晶圆放片时的错插问题，大大提升了放片准确性和存储效率。